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各种空气过滤器在芯片厂的使用

2019-03-01 15:46:28 嘉兴威勒流体科技有限公司 阅读

芯片厂当今半导体芯片厂对生产环境空气洁净程度挑剔,对空气过滤器的要求也苛刻。粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。芯片厂用的有效过滤器和风机过滤单元(FFU)出厂前要经过扫描测试。

芯片厂不认钠焰法和DOP法的帐。下面由北方滤器为大家讲解各种空气过滤器在芯片厂的使用: 

 空气过滤器    

芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维有效过滤材料,这种材料没有挥发物,但它带静电,过滤后的空气要进行电中和以消除离子,少了个隐患,多了个麻烦。    但当芯片的线宽小到0.5um时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,后建的芯厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。    芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器,它的原理和制造工艺并不复杂。    

许多情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点:广谱吸附性能、足够多的吸附材料。    

如果能确定污染物种类,就可对吸附材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。    过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定化学过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的专家,并与实验室有密切的关系。


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